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產(chǎn)品資料

Trek 646

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產(chǎn)品名稱: Trek 646
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: Trek / Advanced Energy
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

軟件驅(qū)動靜電夾頭電源，輸出電壓范圍為0至±3 kV


Trek 646  的詳細介紹
Trek 646描述
Trek® 646 軟件驅(qū)動的靜電夾頭電源提供了多種功能，能夠滿足各種要求高的應(yīng)用需求。該儀器采用先進能源技術(shù)，其效率和吞吐量均為其他電源的三倍。Trek 646 多功能且值得信賴的性能允許在多種獨特工具和工藝中使用，無需為設(shè)施內(nèi)的每種獨特工具或工藝指定新供應(yīng)。


Trek 646特色

? 可鎖定前面板控制界面
? 每臺設(shè)備均附帶NIST可追溯校準(zhǔn)證書
? 支持庫侖和約翰森-拉貝克電阻技術(shù)
? 上傳并存儲靜電夾頭配置文件到設(shè)備，并通過用戶友好的軟件界面內(nèi)部存儲
? 晶圓檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾持狀態(tài)


Trek 646優(yōu)點

? 減少背面氣體錯誤，提高通量，消除硅片粘性/爆裂問題
? 控制參數(shù)，如過電流、晶圓存在和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓以及內(nèi)部或外部幅度/偏移控制
? 調(diào)整過程中的振幅/偏移及輸出控制靈活性
? 通過后面板I/O、串行計算機命令或前面板控制控制輸出
? 配置自定義鉗制和減鐵燈序列及波形


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